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              雙管滑動快速加熱冷卻爐--OTF-1200X-4-C4LVS

              簡要描述:OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究,通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2024-02-21
              • 訪  問  量:1981

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              詳細介紹

                 OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究,通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。

               

              特點:   

              1.雙石英管:外管直徑100mm ,懸掛的內管直徑 80. 金屬箔纏繞在內管的外表面上發生CVD反應。
              2.雙管的真空密封法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.
              3.四通道質量流量計控制4路氣體。
              4.配有KF25快接和波紋管的高速機械泵。

              5.爐子底部裝有滑軌:爐子可以從一端滑向另一端,從而實現快速升溫和降溫.

              技術參數

              爐體結構
              • 高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有*的溫度均勻性.
              • 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
              • 爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.
              • 密封法蘭系統全不銹鋼制作。
              電源電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險絲)
              加熱溫度
              • zui高溫度: 1100°C
              • 連續溫度: 1000°C
              加熱區
              • 加熱區長度: 440mm
              • 恒溫區長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
              • 選擇:   
              • 雙溫區爐可獲得t 240mm 的恒溫區

               

              加熱和冷卻速度zui快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關,  請點擊下圖看出zui快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
              ( 在使用爐子之前,要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 )

               
              click to enlarge
              加熱冷卻
              石英管外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
              內管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
              真空法蘭
              • 一對 SS304不銹鋼法蘭,通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
              • 爐子底部裝有一對滑軌
              • 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻。
              • 為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預熱,然后滑到放置樣品的位置。
              • 為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
              左法蘭(點擊放大)右法蘭 (點擊方大)
                  
              極限真空度: 10^-2 torr (機械泵)
                                 10^-5 torr (分子泵)
              可選本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)
              溫控儀溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程序控制。 控溫儀表操作視頻
              控溫精度: +/-1°C
              混氣系統4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控制.
              • MFC 1范圍:  0~100 sccm
              • MFC 2范圍:  0~200 sccm
              • MFC 3范圍:  0~200 sccm
              • MFC 4范圍:  0~500 sccm
              • 氣路: 4 路
                 
              • 流量精度: 0.2%
                 
              • 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套
                 
              • 一個混氣罐.
                 
              • 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。  
                 
              • 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量. 請看下圖
                 
              • MFC 面板(點擊放大)
              真空泵
              • 安裝在移動架底部的機械泵,真空度達 10-3 Torr. 
              • 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . 
              • 數字真空表安裝在一端的法蘭上.

                選擇: 
                可以配分子泵,真空度達 10-5 Torr     
              作為基片用的25um厚的銅箔 
              (選配)
              生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
              尺寸(mm)爐體: 550 x 380 x 520
              移動架: 600x600x597
              凈重300 lb
              保修期一年質保期 (耗材:如爐管,“O”型圈,和加熱元件等不在保修范圍內)
              認證  CE 認證
               
              國家

              名稱:一種快速高溫退火爐

              編號:ZL-2011-2-0077168.4

              尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究。

              快速加熱冷卻的雙管CVD爐--操作視頻

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